செதில் தூய சிலிக்கானால் (Si) ஆனது. பொதுவாக 6-இன்ச், 8-இன்ச் மற்றும் 12-இன்ச் விவரக்குறிப்புகளாக பிரிக்கப்பட்டு, இந்த செதில்களின் அடிப்படையில் செதில் தயாரிக்கப்படுகிறது. படிக இழுத்தல் மற்றும் வெட்டுதல் போன்ற செயல்முறைகள் மூலம் உயர்-தூய்மை குறைக்கடத்திகளிலிருந்து தயாரிக்கப்படும் சிலிக்கான் செதில்கள் வேஃபர்ஸ் பெக்கா என்று அழைக்கப்படுகின்றன.வட்ட வடிவில் பயன்படுத்தவும். பல்வேறு சுற்று உறுப்பு கட்டமைப்புகள் சிலிக்கான் செதில்களில் செயலாக்கப்பட்டு குறிப்பிட்ட மின் பண்புகளுடன் தயாரிப்புகளாக மாறலாம். செயல்பாட்டு ஒருங்கிணைந்த சுற்று தயாரிப்புகள். செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி செயல்முறைகளின் வரிசையின் மூலம் செமிகண்டக்டர்கள் மிகவும் சிறிய சுற்று கட்டமைப்புகளை உருவாக்குகின்றன, பின்னர் அவை வெட்டப்பட்டு, தொகுக்கப்பட்டு, சில்லுகளாக சோதிக்கப்படுகின்றன, அவை பல்வேறு மின்னணு சாதனங்களில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. வேஃபர் பொருட்கள் 60 ஆண்டுகளுக்கும் மேலான தொழில்நுட்ப பரிணாமம் மற்றும் தொழில்துறை வளர்ச்சியை அனுபவித்து வருகின்றன, இது சிலிக்கான் ஆதிக்கம் செலுத்தும் மற்றும் புதிய குறைக்கடத்தி பொருட்களால் கூடுதலாக ஒரு தொழில்துறை சூழ்நிலையை உருவாக்குகிறது.
உலகின் 80% மொபைல் போன்கள் மற்றும் கணினிகள் சீனாவில் உற்பத்தி செய்யப்படுகின்றன. சீனா அதன் உயர் செயல்திறன் சில்லுகளில் 95% இறக்குமதியை நம்பியுள்ளது, எனவே சீனா ஒவ்வொரு ஆண்டும் 220 பில்லியன் அமெரிக்க டாலர்களை சில்லுகளை இறக்குமதி செய்கிறது, இது சீனாவின் வருடாந்திர எண்ணெய் இறக்குமதியை விட இரண்டு மடங்கு அதிகமாகும். ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி இயந்திரங்கள் மற்றும் சிப் உற்பத்தி தொடர்பான அனைத்து உபகரணங்களும் பொருட்களும் தடுக்கப்பட்டுள்ளன, அதாவது செதில்கள், உயர் தூய்மை உலோகங்கள், பொறித்தல் இயந்திரங்கள் போன்றவை.
இன்று நாம் செதில் இயந்திரங்களின் UV ஒளி அழிக்கும் கொள்கை பற்றி சுருக்கமாக பேசுவோம். தரவை எழுதும் போது, கீழே உள்ள படத்தில் காட்டப்பட்டுள்ளபடி, வாயிலில் உயர் மின்னழுத்த VPP ஐப் பயன்படுத்துவதன் மூலம் மிதக்கும் வாயிலில் கட்டணத்தை செலுத்துவது அவசியம். உட்செலுத்தப்பட்ட மின்னூட்டம் சிலிக்கான் ஆக்சைடு படத்தின் ஆற்றல் சுவரில் ஊடுருவிச் செல்லும் ஆற்றல் இல்லாததால், அது தற்போதைய நிலையை மட்டுமே பராமரிக்க முடியும், எனவே நாம் சார்ஜ் குறிப்பிட்ட அளவு ஆற்றலைக் கொடுக்க வேண்டும்! இந்த நேரத்தில்தான் புற ஊதா ஒளி தேவைப்படுகிறது.
மிதக்கும் வாயில் புற ஊதா கதிர்வீச்சைப் பெறும் போது, மிதக்கும் வாயிலில் உள்ள எலக்ட்ரான்கள் புற ஊதா ஒளி குவாண்டாவின் ஆற்றலைப் பெறுகின்றன, மேலும் எலக்ட்ரான்கள் சிலிக்கான் ஆக்சைடு படத்தின் ஆற்றல் சுவரில் ஊடுருவி ஆற்றலுடன் சூடான எலக்ட்ரான்களாக மாறும். படத்தில் காட்டப்பட்டுள்ளபடி, சூடான எலக்ட்ரான்கள் சிலிக்கான் ஆக்சைடு படலத்தில் ஊடுருவி, அடி மூலக்கூறு மற்றும் வாயிலுக்கு பாய்ந்து, அழிக்கப்பட்ட நிலைக்குத் திரும்புகின்றன. அழித்தல் செயல்பாடு புற ஊதா கதிர்வீச்சைப் பெறுவதன் மூலம் மட்டுமே செய்ய முடியும், மேலும் மின்னணு முறையில் அழிக்க முடியாது. வேறு வார்த்தைகளில் கூறுவதானால், பிட்களின் எண்ணிக்கையை "1" இலிருந்து "0" ஆகவும், எதிர் திசையில் மட்டுமே மாற்ற முடியும். சிப்பின் முழு உள்ளடக்கத்தையும் அழிப்பதைத் தவிர வேறு வழியில்லை.
ஒளியின் ஆற்றல் ஒளியின் அலைநீளத்திற்கு நேர்மாறான விகிதத்தில் உள்ளது என்பதை நாம் அறிவோம். எலக்ட்ரான்கள் சூடான எலக்ட்ரான்களாக மாறுவதற்கும், ஆக்சைடு படலத்தை ஊடுருவிச் செல்லும் ஆற்றலைப் பெறுவதற்கும், குறைந்த அலைநீளத்துடன் கூடிய ஒளியின் கதிர்வீச்சு, அதாவது புற ஊதா கதிர்கள் மிகவும் அவசியம். அழிக்கும் நேரம் ஃபோட்டான்களின் எண்ணிக்கையைப் பொறுத்தது என்பதால், குறைந்த அலைநீளங்களில் கூட அழிக்கும் நேரத்தைக் குறைக்க முடியாது. பொதுவாக, அலைநீளம் 4000A (400nm) இருக்கும் போது அழித்தல் தொடங்குகிறது. இது அடிப்படையில் 3000A சுற்றி செறிவூட்டலை அடைகிறது. 3000Aக்குக் கீழே, அலைநீளம் குறைவாக இருந்தாலும், அது அழிக்கும் நேரத்தில் எந்தப் பாதிப்பையும் ஏற்படுத்தாது.
புற ஊதா கதிர்களை 253.7nm துல்லியமான அலைநீளம் மற்றும் ≥16000 μW /cm² தீவிரம் கொண்ட புற ஊதா கதிர்களை ஏற்றுக்கொள்வது UV அழிப்பதற்கான தரநிலையாகும். 30 நிமிடங்கள் முதல் 3 மணிநேரம் வரையிலான வெளிப்பாடு நேரத்தின் மூலம் அழிக்கும் செயல்பாட்டை முடிக்க முடியும்.
இடுகை நேரம்: டிசம்பர்-22-2023